[改訂新版] 真空技術活用マニュアル（PDF）

197671_改訂新版 真空技術活用マニュアル3.2.pdf

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●商品説明
・飯島 徹穂、飯田 俊郎著
・183ページ

本書は、1990年に発行した真空技術活用マニュアルの改訂新版である。今回の改訂新版に当たっては、全般的に表現の簡素化を含め、読みやすい、理解しやすいという面により一層の配慮をした。
最近、特に半導体製造技術の急速な発展に伴って、オイルフリーのクリーンバキュームの必要性から、最近いろいろな形式のドライ真空ポンプがかなり普及してきている。したがって、本著の第3章「真空をどのようにしてつくるか」では、3.2.5ドライ真空ポンプの頃をかなり大幅に加筆・修正を行なった。また第7章「低・中真空技術はどのように応用されているか」では、7.3節その他の応用で真空包装への応用を一部追加した。さらに、第10章「真空ポンプ使用上の疑問点に答える」では、真空ポンプの全般的な問題のQ＆Aを若干追加した。
本書が真空技術をこれから修得される学生・技術者・研究者等にとって、いささかでもお役に立てれば誠に幸いである。
（「改訂新版に当たって」より）

※この電子書籍は、株式会社 工業調査会より2002年 4月に発刊された同タイトルの書籍に基づき、電子書籍用に再編集したものです。